電動機16作為第一驅動機構。電動機16具有滾珠螺桿17,且滾珠螺母18與此滾珠螺桿17嚙合。將抬升壓板附著板19固定到抬升壓板6的下部表面,且將滾珠螺母18固定到此抬升壓板附著板19。
[0114]在抬升壓板6的上表面上,固定框架構件20,且將周圍構件附著板21固定到框架構件20的上表面。代替框架構件20,可使用多個板狀、柱狀或類似構件。在周圍構件附著板21的上表面上,安置多個彈性體(例如,線圈彈簧或盤式彈簧)22,且將周圍構件8放置在此些彈性體22上。通過此機構,經由滾珠螺母18、抬升壓板附著板19、抬升壓板6、框架構件20、周圍構件附著板21及彈性體22連續傳動電動機16的旋轉,從而最終使周圍構件8向上或向下移動。
[0115]在對應于底部構件9的中心的位置(如在平面視圖上所觀測到)處將充當第二驅動機構的另一電動機23固定到抬升壓板6的上表面。電動機23具有滾珠螺桿24,且滾珠螺母25與此滾珠螺桿24嚙合。將滾珠螺母25固定到底部構件附著構件26,將所述底部構件附著構件固定到底部構件9的下部。彈性體(未圖示)可另外設置于底部構件9與底部構件附著構件26之間。
[0116]底表面附著構件26可在設置于周圍構件附著板21的中心部分中的通孔27中向上或向下移動。在通孔27中的周圍構件附著板21的內部周圍表面與底部構件附著構件26的外部周圍表面之間,沿著通孔27的整個周圍設置由氟橡膠或類似材料制成的密封構件28。因此,底部構件9與周圍構件附著板21之間的空間與位于周圍構件附著板21的下及框架構件20內的空間分開。
[0117]在周圍構件附著板21的上表面上,固定框架形狀環境空氣屏蔽構件29。在位于上部基底5與周圍構件附著板21之間(包含上部基底5及周圍構件附著板21自身)的組件之間,設置由氟橡膠或類似材料制成的密封構件30A及30B。舉例來說,在環境空氣屏蔽構件29的上表面與上部基底5的下表面之間,密封構件30A被設置于環境空氣屏蔽構件29的上表面或上部基底5的下表面上,或在其兩者上。類似地,密封構件30B被設置于環境空氣屏蔽構件29的下表面與周圍構件附著板21的上表面之間。僅設置密封構件30A及30B中的一者也是可能的。另外還有可能將一個框架形狀環境空氣屏蔽構件附著到周圍構件附著板21的上表面,且將另一框架形狀環境空氣屏蔽構件附著到上部基底5的下表面,以使得此些兩個構件面朝彼此。在此狀況下,密封構件被設置于兩個框架形狀環境空氣屏蔽構件的面朝彼此的表面中的至少一者上。
[0118]在周圍構件附著板21中,將抽吸孔31設置于周圍構件8之外,如在平面視圖上所觀測到。抽吸孔31通過抽吸管32連接到減壓部件33,例如真空栗或降壓槽。抽吸管32具備用于將抽吸孔31連接到減壓部件33或大氣的開關閥34。
[0119]在上部模具7的下表面上,密封的襯底35(其在下文中被稱作“裸襯底”)通過抽吸、夾持或其它普遍知曉的方法暫時固定。裸襯底35具有電路板36以及由半導體芯片及安裝于其上的其它元件組成的芯片37。裸襯底35的連接端子及芯片37的連接端子通過導線、凸塊或其它導電材料(未圖示)電連接。裸襯底35的表面(圖中的下表面)上的預定區域及芯片37用密封樹脂密封,通過使空腔12中的流體樹脂固化而形成所述密封樹脂。周圍構件8具有用于允許空腔12與外部空間38連通的一或多個連通孔39,所述外部空間為在環境空氣屏蔽構件29之內及模具11之外的空間。連通孔39被設置于略低于對應于待形成的密封樹脂的厚度的水平的位置處(參見圖2A)。
[0120]在樹脂密封系統I中,首先,經由滾珠螺母18、抬升壓板附著板19、抬升壓板6、框架構件20、周圍構件附著板21及彈性體22連續傳動電動機16 (第一驅動機構)的旋轉或停止,以最終在垂直方向上驅動周圍構件8或暫時中止其移動。因此,電動機16使周圍構件8向上或向下移動。
[0121]其次,經由滾珠螺母25及底部構件附著構件26傳動電動機23(第二驅動機構)的旋轉,以最終在垂直方向上驅動底部構件9。因此,電動機23使底部構件9向上或向下移動。
[0122]第三,電動機16的旋轉或停止導致固定于抬升壓板6上的電動機23垂直地移動或暫時中止其移動。電動機23的此垂直運動導致經由滾珠螺母25及底部構件附著構件26機械連接到電動機23的底部構件9的對應垂直運動。因此,電動機16的旋轉導致周圍構件8及底部構件9兩者皆向上或向下移動。
[0123]另外,通過在以下三個模式中的一者中控制電動機16及23,有可能垂直地驅動周圍構件8或底部構件9,同時維持其它構件處于相同高度。在第一模式中,電動機16在一個(正向)方向上旋轉以使周圍構件8及底部構件9兩者皆以速度V向上移動,而電動機23在另一(反向)方向上旋轉以使底部構件9以速度V向下移動。在此狀況下,在從樹脂密封系統I之外檢視時,周圍構件8以速度V向上移動,而暫時中止底部構件9的移動。
[0124]在第二模式中,電動機16在反向方向上旋轉以使周圍構件8及底部構件9兩者皆以速度V向下移動,而電動機23在正向方向上旋轉以使底部構件9以速度V向上移動。在此狀況下,在從樹脂密封系統I之外檢視時,周圍構件8以速度V向下移動,而暫時中止底部構件9的移動。
[0125]在第三模式中,在停止電動機16時,旋轉電動機23以使底部構件9以速度V向上或向下移動。在此狀況下,在從樹脂密封系統I之外檢視時,底部構件9以速度V向上或向下移動,而暫時中止周圍構件8的移動。概括來說,那些三個模式表明可通過恰當地控制電動機16及23而在垂直方向上獨立地驅動周圍構件8及底部構件9。
[0126]在下文中參看圖1A到圖3B描述根據本發明的模制品制造方法。最初,如圖1A中所示,通過普遍知曉的方法將裸襯底35暫時固定到上部模具7的下表面。將呈適當形式(例如顆粒)的樹脂材料15供應給空腔12。在電動機23停止的情況下,給電動機16通電以便使電動機16在正向方向上旋轉,且借此抬升抬升壓板6。通過此操作,固定到抬升壓板6的以下兩個系統以相同速度抬升:第一系統包含框架構件20、周圍構件附著板21、彈性體22、周圍構件8及環境空氣屏蔽構件29。第二系統包含電動機23、滾珠螺桿24、滾珠螺母25、底部構件附著構件26及底部構件9。因此,通過使電動機16在正向方向上旋轉,周圍構件8、底部構件9及環境空氣屏蔽構件29可以相同速度抬升。
[0127]接下來,如圖1B中所示,周圍構件8、底部構件9及環境空氣屏蔽構件29以相同速度進一步抬升。使設置于環境空氣屏蔽構件29的上表面上的密封構件30A與上部基底5的下表面接觸。接著,密封構件30A開始變形。密封構件30A或30B開始變形但不完全壓縮的狀態在下文中被稱作“不完全閉合狀態”。
[0128]隨后,如圖1B中所示,在到達不完全閉合狀態之后,操作開關閥34使在環境空氣屏蔽構件29之內的空間與減壓部件33連通。借此減壓在環境空氣屏蔽構件29之內的空間。在此過程中,將流體樹脂40中含有的氣體排放到模具11之外。
[0129]接著,電動機16在正向方向上進一步旋轉以完全壓縮密封構件30A及30B。完全壓縮密封構件30A及30B的狀態在下文中被稱作“完全閉合狀態”。通過產生完全閉合狀態,使環境空氣屏蔽構件29之內的空間成為經屏蔽以免于環境空氣的封閉空間。同時,通過加熱恪化樹脂材料15以制造由恪化樹脂制成的流體樹脂40。在到達完全閉合狀態之后,開關閥34在適當時間點處操作以使外部空間38與大氣連通(參見圖2A)。
[0130]接下來,如圖2A中所示,電動機16在正向方向上進一步旋轉以進一步抬升周圍構件8。在將周圍構件8的上表面按壓到電路板36上以夾持此板之后,控制電動機16以使得周圍構件8不斷地將一定量的壓力施加到電路板36。
[0131]接下來,如圖2A中所示,給電動機23通電以使此電動機23在正向方向上旋轉,且借此抬升底部構件9。抬升底部構件9直到底部構件9的內部底表面14到達與周圍構件8的上表面分開達預定長度的位置(“預定位置”)。因此,形成具有等于所述長度的預定深度的空腔
12。在確定底部構件9已到達預定位置時,控制電動機23以使得底部構件9不斷地將預定量的壓力施加到流體樹脂40,且維持預定位置。在圖中,厚虛線箭頭意謂在從樹脂密封系統I之外檢視時,由那些箭頭指示的組件并未移動,但用于移動那些組件的驅動源(電動機16及23)正在操作。
[0132]通過迄今為止描述的過程,達成模具11的完全閉合狀態。在此狀態中,周圍構件8的上表面與底部構件9的內部底表面(頂表面)14之間的距離對應于由固化樹脂組成的密封樹脂41的厚度(參見圖2B)。
[0133]隨后,如圖2A中所示,在固化時間的預定長度內加熱流體樹脂40。通過此過程,使流體樹脂40固化,從而形成由固化樹脂組成的密封樹脂41,如圖2B中所示。通過迄今為止描述的過程,完成密封襯底42。此密封襯底42對應于包含通過使流體樹脂40固化而形成的固化樹脂(密封樹脂41)的模制品。
[0134]接下來,在預定時間周期內維持將周圍構件8的上表面按壓到電路板36上以夾持此板(參見圖2A)的狀態。此后,如下控制電動機16及23:電動機23在正向方向上旋轉以使底部構件9以速度V向上移動,如從電動機23所檢視。同時,電動機16在反向方向上旋轉以使抬升壓板6以速度V向下移動。在從樹脂密封系統I之外檢視時,此些兩個動作的組合使周圍構件8以速度V向下移動,同時將底部構件9維持在特定高度。通過此操作,密封樹脂41的外部周圍表面與周圍構件8的內部周圍表面分開,同時密封樹脂41的頂表面(圖中的底部表面)由底部構件9的內部底表面14支撐,在從樹脂密封系統I之外檢視時將所述底部構件維持在相同高度。
[0135]接著,從圖2B中所示的狀態,電動機23在反向方向上旋轉以使底部構件9以速度V向下移動,如從電動機23所檢視,如圖3A中所示。同時,電動機16在正向方向上旋轉以使抬升壓板6來速度V向上移動。在從樹脂密封系統I之外檢視時,此些兩個運動的組合使周圍構件8向上移動,同時將底部構件9維持在特定高度。因此,電路板36再次由周圍構件8的上表面夾持。圖3A展示緊接在再次夾持電路板36之前的狀態。控制電動機16以使得周圍構件8不斷地將一定量的壓力施加到電路板36。
[0136]接下來,如圖3B中所示,雖然周圍構件8不斷地將一定量的壓力施加到電路板36,電動機23在反向方向上進一步旋轉,從而以速度V降低底部構件9,如從電動機23所檢視。通過此操作,密封樹脂41的頂表面與底部構件9的內部底表面14分開,同時電路板36由周圍構件8的上表面夾持,在從樹脂密封系統I之外檢視時將所述周圍構件維持在相同高度,且同時由周圍構件8的內部周圍表面支撐固化樹脂41的外部周圍表面。
[0137]如圖3B中所示,在此過程中,使底部構件9的內部底表面14與密封樹脂41的頂表面之間的間隙43與在大氣壓下的外部空間38連通。此情形降低了密封襯底42的斷裂的機率,可歸因于由使密封樹脂41的頂表面與底部構件9的內部底表面14分離的操作產生的以下兩個原因而發生斷裂。
[0138]第一原因在于底部構件9的內部底表面14的力將密封樹脂41的頂表面向下拉。在底部構件9的內部底表