燕尾槽密封材料以及裝有燕尾槽密封材料的真空閘閥的制作方法

專利名稱：燕尾槽密封材料以及裝有燕尾槽密封材料的真空閘閥的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種燕尾槽密封件以及裝有燕尾槽密封件的真空閘閥。
背景技術：
作為在半導體制造裝置等中使用的真空閘閥，例如已知有一種單作用型的 真空閘閥。
圖9是表示單作用型的真空閘閥的分解立體圖。
也就是說，該真空閘閥100具有具有如下構造閥板102在致動器104 的作用力下進行單一方向的直線移動，由此將大致矩形的閘門開口部106封固 住。
在這種真空閘閥100中，作為安裝在閥板102外周面上的密封件，通常使 用截面呈圓形的0形圈108。
此外，真空閘閥100在半導體或FPD制造裝置等中有時還用于為將基板收 進和送出而反復減壓和向大氣開放的加載鎖定腔(load lock chamber)。
在此，當在真空閘閥100的閥芯關閉的狀態下使加載鎖定腔向大氣開放 時，閥芯承受1個大氣壓的差壓而在保持關閉的狀態下向著與加載鎖定腔相反 的方向移動。然后，當再次使加載鎖定腔減壓時，闊芯再次向加載鎖定腔側移 動。這樣，在裝于加載鎖定腔的真空閘閥100中，在裝置的結構方面，閥芯要 在水平方向上頻繁移動。
例如，如圖10所示，當閥板102反復向箭頭方向移動時，在0形圈108 上會反復地作用有密封負載和推力負載，因此，0形圈108的一部分就容易發 生扭曲而發生密封不良的情況。
此外，由于截面呈圓形的0形圈108呈容易引起轉動的形狀，因此容易發 生從密封槽112中脫落的情況。這樣，對于使用了容易發生因扭曲或脫落而造
成的密封不良情況的0形圈108的真空閘閥100來說，就需要頻繁地進行更換 0形圈108的維護工作。由于這樣的維護工作要使生產流水線停止工作一段時 間，因此會嚴重影響生產率，導致成本增加。
另一方面，在使用0形圈108的場合，當真空閘閥100隨著作為被處理對 象的硅晶片等的大型化而大型化時，由于需要相應地允許加工精度、組裝誤差， 因此也必須加大0形圈108的截面形狀。
因此，隨著真空閘閥100的大型化，用于獲得0形圈108的壓縮余量的負 載也變大，結果，就有必要采取提高閥箱110的剛性或為加大推壓力而加大致 動器104的輸出等應對措施，這會成為導致成本上升的重要原因。
因此，近年來，本申請人等提供了特殊的異形密封件來代替圓形截面的O 形圈。這種異形密封件就是裝在燕尾槽內的燕尾槽密封件。
圖11表示的是本申請人提出了專利申請的燕尾槽密封件200，這種燕尾 槽密封件200為了防止脫落和轉動而采用了與圓形截面的0形圈不同的異形形 狀(專利文獻l:日本專利特開2003 — 14126號公報)。
這種燕尾槽密封件200的截面形狀包括配置在燕尾槽220的底面222 上的平坦的底邊202;從底邊202的兩側向外傾斜地向上的左右斜邊204、 204; 分別設置在左右斜邊204、 204的前端、在燕尾槽220的內部配置在開口 224 附近的左右伸出部206、 206;設置在左右伸出部206、 206的中央、比燕尾槽 220的開口 224更向上突出配置的中央凸部208;以及設置在伸出部206、 206 與中央凸部208之間、比伸出部206、 206與中央凸部208之間的連線更向內 側凹陷的凹部210、 210。
由于這種燕尾槽密封件200為對稱截面，因此可對抗從兩邊來的推力負荷 而具有防止轉動的效果。
此外，在燕尾槽220內安裝燕尾槽密封件200時，由于底邊202部分的形 狀易于分清，因此燕尾槽密封件200也就不會上下搞錯地安裝到燕尾槽220中。
專利文獻l:日本專利特開2003 — 14126號公報
但是，這種已有的燕尾槽密封件200并不能完全抑制從中央凸部208的斜 向施加大的作用力時一側的伸出部206從燕尾槽220的開口 224中脫落的現象。
此外，在燕尾槽密封件200被過度壓縮時，還會因金屬彼此之間的磨擦而 產生小顆粒。
還有，在截面形狀為異形的燕尾槽密封件的場合，多半情況下很難裝入到 燕尾槽中。

發明內容
鑒于上述問題，本發明的目的在于提供一種特別適用于半導體制造裝置、 液晶制造裝置等的燕尾槽密封件，即使從燕尾槽密封件的左右兩邊施加密封負 載或推力負載也不會發生轉動或從燕尾槽中脫落的情況，且裝入到燕尾槽中的 安裝性良好。
此外，本發明的目的還在于提供一種真空閘閥，其即使是在半導體制造裝 置、液晶制造裝置等中使用而大型化的真空閘閥，也能用低負載來得到充分的 密封力。
解決技術問題所采用的技術方案
本發明是為了解決如上所述的已有技術中的問題并實現如上所述的目的 而開發的。
本發明的燕尾槽密封件是一種閉環形的燕尾槽密封件，在彼此相對的一對 部件的接合處，通過安裝到設在任一個部件的表面上的燕尾槽內并與另一個部 件的表面抵接來將兩部件之間封固住，其特征在于，安裝在所述燕尾槽內的所 述燕尾槽密封件的截面形狀包括底面部，它與所述燕尾槽的底面接觸，且左 右的角部位于比所述燕尾槽的開口的最窄寬度稍窄的位置上；側面突出部， 它從所述底面部連續延伸，設置成比所述底面部的角部更向寬度方向突出并 與所述燕尾槽內側的斜邊抵接；伸出肩部，它從所述側面突出部連續形成， 其角部的位置比所述燕尾槽的開口側端面的位置更靠近燕尾槽底面側且比 所述燕尾槽的最窄部的位置更靠近燕尾槽的開口側；以及密封凸部，它從所 述伸出肩部連續延伸，設置成比所述燕尾槽的開口更向上突出，且在與所述另 一個部件的表面抵接時將兩部件之間封固住。
這樣構成，就能防止燕尾槽密封件的轉動，還能防止燕尾槽密封件從燕尾
槽中脫落。
此外，由于在燕尾槽密封件上設有伸出肩部，因此可使燕尾槽密封件在燕 尾槽內的狀態變得穩定，能得到優良的防止轉動的效果。
還有，在將燕尾槽密封件裝入時，由于伸出肩部與側面突出部之間的分界 部分呈凹形，因此這一側的凹形部分會與燕尾槽的最窄部分抵接，可使燕尾槽 密封件以此為基點朝著燕尾槽的底面方向旋轉插入，從而無論是誰都能簡易地 將燕尾槽密封件裝入到燕尾槽中。
此外，由于燕尾槽內側的斜邊與大致呈圓弧形狀的側面突出部大范圍地抵 接，因此能降低應力集中，能防止因燕尾槽密封件的異常磨損而形成的小顆粒 的產生。
此外，本發明的燕尾槽密封件的特征在于，在將所述燕尾槽密封件的所述 伸出肩部的最寬處的寬度設為Wl、將所述燕尾槽的開口的最窄處的寬度設為G
時，所述W1的范圍為0.75G〈W1〈G。
若將伸出肩部的最寬處的寬度設定在這樣的范圍內，則即使從密封凸部的 斜向施加有大的作用力時，由于伸出肩部與燕尾槽的開口邊緣的角部抵接，因 此也能可靠地防止燕尾槽密封件在燕尾槽內轉動或破壞原有姿勢。
此外，本發明的燕尾槽密封件的特征在于，在將從所述燕尾槽的底面至 所述燕尾槽的開口側端面的距離設為H、將從所述燕尾槽的底面至所述密封 凸部的最高處的距離設為H1時，所述H1的范圍為1.20H〈HK1.60H。
若將密封凸部的最高處設定在這樣的范圍內，則在密封凸部與另一個部件 的表面抵接時，能得到一個部件與另一個部件之間的充分的密封性能。
此外，本發明的燕尾槽密封件的特征在于，在將從所述燕尾槽的底面至所 述燕尾槽的開口側端面的距離設為H、將從所述燕尾槽的底面至所述側面突出 部的靠所述燕尾槽的開口側端面側的基端部的距離設為H2時，所述H2的范圍 為0. 9H〈H2〈0. 95H。
若將側面突出部的靠燕尾槽的開口側端面側的基端部的位置設定在這樣 的范圍內，則由于側面突出部與燕尾槽內側斜邊開口的最窄處附近的內側斜邊 抵接，因此不會使側面突出部在寬度方向上過于突出。
因此，就能容易地將燕尾槽密封件裝入到燕尾槽中，同時又能在安裝后使 燕尾槽內的燕尾槽密封件的狀態變得穩定，能得到優良的防止轉動的效果。
此外，本發明的燕尾槽密封件的特征在于，在將所述燕尾槽的開口的最窄 處的寬度設為G、將所述底面部的最寬處的寬度設為W2時，所述W2的范圍為
0.75G〈W2〈G。
若將底面部的最寬處的寬度設定在這樣的范圍內，則能容易地將燕尾槽密 封件裝入到燕尾槽中，同時又能將燕尾槽密封件的底面以穩定的狀態配置在燕 尾槽的底面上，從而發揮穩定的密封性能。
此外，本發明的燕尾槽密封件的特征在于，在所述底面部上設有凹部。
這樣構成，在對一個部件與另一個部件之間進行封固時，可使凹部充分變 形，從而能以低負載來獲得密封力。
此外，本發明的燕尾槽密封件的特征在于，在從所述密封凸部的最高處向 所述底面部方向向下作垂線時，所述燕尾槽密封件相對于所述垂線呈線對稱的 形狀。
這樣構成，就能充分地克服來自左右兩邊的轉動。
此外，本發明的真空閘閥的特征在于，所述的燕尾槽密封件安裝在閥芯上。
這樣構成，就能防止燕尾槽密封件的轉動，裝入到燕尾槽中的安裝性也良 好，又能防止金屬接觸、產生小顆粒，還能減少因密封不良而要進行的維護。 因此，能有效地用于加載鎖定腔。此外，還能提高晶片等的生產率。 發明效果
本發明的燕尾槽密封件以及裝有燕尾槽密封件的真空閘閥特別適用于半 導體制造裝置、液晶制造裝置等，即使從燕尾槽密封件的左右兩邊施加了密封 負載或推力負載時，也不會發生轉動或從燕尾槽中脫落，能得到裝入到燕尾槽 中的良好的安裝性。
此外，采用這種燕尾槽密封件的真空閘閥能有效地適用于反復進行減壓和 向大氣開放的加載鎖定室的加載鎖定腔。


圖1是表示本發明一實施例的燕尾槽密封件10的圖，圖1 (a)是俯視圖，
圖1 (b)是側視圖，圖1 (c)是仰視圖，圖1 (d)是沿圖1 (a)的X-X線剖 切的剖視圖。
圖2是表示本發明一實施例的燕尾槽密封件10的裝上狀態的剖視圖。 圖3是表示具有本發明一實施例的燕尾槽密封件10的真空間閥80的概況 的示意圖。
圖4是表示將本實施例的密封件裝入到燕尾槽內的順序的示意圖。
圖5是表示本實施例的密封件固定時的變形狀態的概略剖視圖。
圖6是表示將本實施例的燕尾槽密封件與已有技術例的密封件作對比，示
意地表示其裝上狀態和壓縮狀態的圖。
圖7是表示將本實施例的燕尾槽密封件與已有技術例的密封件作對比，表
示其壓縮余量與壓縮負載之間的關系的曲線圖。
圖8是表示本申請的發明的燕尾槽密封件的另一實施例的概略剖視圖。 圖9是以己有技術的燕尾槽中裝上密封部件的例子來表示的真空閘閥的
分解立體圖。
圖10是表示在閥芯上裝有O形圈時作用在密封件上的力的已有技術例的 剖視圖。
圖11是在日本專利特開2003 — 14126號公報中所揭示的燕尾槽密封件的 剖視圖。
(符號說明)10燕尾槽密封件
12底面部
13a側面部
13b側面部
14a角部
14b角部
16a側面突出部
16b側面突出部 18 伸出肩部
20a 角部
20b 角部
22 密封凸部
23 凹部 24a 凹部 24b 凹部 26a 抵接部 26b 抵接部 28a 凹部 28b 凹部 30a 凹部 30b 凹部 60 燕尾槽 62 底面
64 開口
66a 角部
66b 角部
68a 角部
68b 角部
70a 斜邊
70b 斜邊
72 最窄部的位置
74 開口側端面
80 真空閘閥
85 —個部件
90 另一個部件
H 從燕尾槽的底面至燕尾槽的開口側端面的距離
HI 從燕尾槽的底面至密封凸部的最高處的距離
H2 從燕尾槽的底面至側面突出部的、燕尾槽的開口側端面側的基端部 的距離
H3 燕尾槽的最窄部的位置
Wl 燕尾槽密封件的伸出肩部的最寬處的寬度
W2 底面部的最寬處的寬度
G 燕尾槽的開口的最窄處的寬度
t 壓縮余量
100 真空閘閥
102 閥板
104 致動器
106 閥門開口部
108 0形圈
110 閥箱
112 密材槽
200 燕尾槽密封件
202 底邊
204 斜邊
206 伸出部
208 中央凸部
210 凹部
222 底面
224 開口
300 密封件
具體實施例方式
以下，根據附圖來詳細說明本發明的實施方式(實施例)。
圖1是表示本發明一實施例的燕尾槽密封件10的圖，圖1 (a)是俯視圖，圖1 (b)是側視圖，圖1 (c)是仰視圖，圖1 (d)是沿圖1 (a) 的X-X線剖切的剖視圖。
圖2是表示本發明一實施例的燕尾槽密封件10的裝上狀態的剖視圖， 圖3是表示具有本發明一實施例的燕尾槽密封件10的真空間閥80的概況 的示意圖。
如圖1 (a) 圖1 (c)所示，本發明的燕尾槽密封件IO是閉環形的 密封件，其截面形狀如圖l (d)所示，呈由多個凸部和凹部構成的形狀。
此外，如圖2所示，燕尾槽密封件10安裝在形成有閉環形燕尾槽60 的一個部件(例如，相當于閥板)85與另一個部件(例如，相當于閥箱) 90之間的封固處。
一個部件85的表面上所形成的燕尾槽60具有在部件85的表面附近成 為最窄處的開口 64，從開口 64的端緣至燕尾槽60的底面60處形成錐形擴 大的梯形，并具有一對斜邊70a、 70b和平坦的底面62。
此外，在燕尾槽60的開口 64邊緣的角部68a、 68b以及底面62側的 角部66a、 66b處設有大的半徑的圓弧。
另一方面，燕尾槽密封件IO首先設有底面部12，該底面部12與燕尾 槽60的底面62接觸，且左、右的角部14a、 14b位于比燕尾槽60的開口 64的最窄寬度稍窄的位置上。另外，在底面部12上也可設有凹部23。若 設有凹部23，則如后所述，在對一個部件與另一個部件之間進行封固時， 與未設有凹部23的場合相比，即使推壓力要小一些也能得到同樣的密封性 能。
此外，還設有側面突出部16a、 16b，該側面突出部16a、 16b從底面 部22連續延伸，比底面部12的角部14a、 14b更向寬度方向突出，并與燕 尾槽60內側的斜邊70a、 70b抵接。
此外，還在側面突出部16a、 16b的上方連續設有伸出肩部18。 伸出肩部18的左、右角部20a、 20b比燕尾槽60的開口 64側的端面 位置更靠近燕尾槽60的底面62側，同時又比燕尾槽60的最窄部的位置72 更靠近燕尾槽60的開口 64側。即，設有使所謂的左、右角部20a、 20b處
于H3范圍內的伸出肩部18。
此外，還設有密封凸部22，該密封凸部22從伸出肩部18連續延伸， 設置成比燕尾槽60的開口 64更向上方突出，并在與另一個部件90的表面 抵接時將兩部件之間封固住。
這樣就構成了燕尾槽密封件10。
以下，對本實施例的燕尾槽密封件10的各部分的最佳設計條件進行說明。
如圖2所示，在將燕尾槽密封件10的伸出肩部18的最寬處的寬度設 為Wl、將燕尾槽60的開口 64的最窄處的寬度設為G時，Wl的范圍最好為 0. 75G〈WKG。
若將伸出肩部18的最寬處的寬度設定在這樣的范圍內，則在從密封凸 部22的斜向施加大的作用力時，由于伸出肩部18會與燕尾槽60的開口 64 邊緣的角部68a、 68b抵接，因此也能可靠地防止燕尾槽密封件10在燕尾 槽60內轉動或破壞原有姿勢。
此外，在將從燕尾槽60的底面62至燕尾槽60的開口側端面74的距 離設為H、將從燕尾槽60的底面62至密封凸部22的最高處的距離設為Hl 時，Hl的范圍最好為1. 20H〈HK1. 60H。
若將密封凸部22的最高處設定在這樣的范圍內，則在另一個部件90 的表面與密封凸部22抵接時，能得到充分的、 一個部件85與另一個部件 90之間的密封性能。
此外，在將從燕尾槽60的底面62至燕尾槽60的開口側端面74的距 離設為H、將從燕尾槽60的底面62至側面突出部16a、 16b的燕尾槽60 的開口側端面74側的基端部的距離設為H2時，H2的范圍最好為 0. 9H<H2<0. 95H。
若將側面突出部16a、 16b的燕尾槽60的開口側端面74側的基端部的 位置設定在這樣的范圍內，則燕尾槽60的內側斜邊開口的最窄處附近的斜 邊70a、 70b會與側面突出部16a、 16b抵接，因此不會使側面突出部16a、 16b在寬度方向上過于突出。
因此，能將燕尾槽密封件10容易地裝入到燕尾槽60中，同時又能在
裝上后使燕尾槽60內的燕尾槽密封件10的狀態變得穩定，能得到優良的
防止轉動的效果。
此外，在將燕尾槽60的開口 64的最窄處的寬度處的寬度設為G、將 底面部12的最寬處的寬度設為W2時，W2的范圍最好為0. 75G〈W2〈G。
若將底面部12的最寬處的寬度設定在這樣的范圍內，則能容易地將燕 尾槽密封件10裝入到燕尾槽60中，同時又能將燕尾槽密封件10的底面以 穩定的狀態配置在燕尾槽60的底面上，可發揮穩定的密封性能。 由此，最好將各部分的尺寸設計在上述范圍內。 這種燕尾槽密封件10由整體可彈性變形的橡膠材料形成。 作為橡膠材料，例如有硬度為60-70HA左右的氟橡膠、硅橡膠、EPDM 類橡膠等，特別是在用于半導體制造裝置或液晶制造裝置的真空閘閥等的 場合，由于多半情況下內部為等離子環境，所以最好是耐等離子性優良的 氟橡膠。
如圖3所示，若將這種燕尾槽密封件10設置在例如真空閘閥80的反 復進行減壓和向大氣開放的加載鎖定室的加載鎖定腔中，則即使從燕尾槽 密封件10的左右兩邊施加密封負載或推力負載也不會發生轉動或從燕尾槽 60中脫落，從而可得到在燕尾槽60內的良好的安裝性。
以下，參照圖4來說明這種燕尾槽密封件10在燕尾槽60內的安裝過程。
另外，圖4 (a) 圖4 (c)中的箭頭表示力的作用方向。 首先，如圖4(a)所示，從燕尾槽密封件10的底面部12插入到燕尾 槽60內。
接著，如圖4 (b)所示，在燕尾槽60內，燕尾槽密封件10的一個側 面突出部16a與伸出肩部18的角部20a之間的凹部24a與燕尾槽60的角 部68a抵接，燕尾槽密封件10傾斜。
在此狀態下，若將燕尾槽密封件10繼續推入，則燕尾槽密封件10會 以凹部24a為基點向燕尾槽60底面方向旋轉插入，因此，如圖4(c)所示，
14
側面突出部16b會完全通過燕尾槽60的開口邊緣的角部68b，從而配置在 燕尾槽60的底面62上。此時，只需稍稍壓縮側面突出部16b的附近即可 將燕尾槽密封件10收容在燕尾槽60的內部。
此時，由于在底面部12上具有凹部23，使得燕尾槽密封件IO容易變 形，因此，無需大的作用力就能將燕尾槽密封件10裝入到燕尾槽60內。
若從此狀態將凹部23推入到燕尾槽60的底面62上，則就能將燕尾槽 密封件10完全安裝到燕尾槽60內。
此外，由于燕尾槽密封件10的側面突出部16a、 16b的抵接部26a、 26b與燕尾槽60的斜邊70a、 70b抵接，因此在圖4 (a)的狀態下，燕尾 槽密封件10不能沿燕尾槽60的寬度方向移動，而且，由于燕尾槽60的開 口邊緣狹窄，因此不會向外脫落。此外，由于側面突出部16a、 16b的開口 側的曲面即抵接部26a、 26b與燕尾槽60的斜邊70a、 70b抵接，因此燕尾 槽密封件IO也不會向上脫落。
下面，參照圖5 (a) 、 5 (b)來說明對安裝在一個部件85上的燕尾 槽密封件10進行固定時的情況。
如圖5 (a)所示，燕尾槽密封件10安裝在一個部件85內，另一個部 件90接近該部件85，與密封凸部22的前端部抵接。
若在此狀態下推入，則如圖5 (b)所示，將密封凸部22推入燕尾槽 60內而將底面部12的凹部23壓垮。
在圖5 (b)的密封狀態下，推壓力大致垂直地對密封面進行作用，由 此，能可靠地防止燕尾槽密封件10的轉動。
這樣，在本實施例中，通過安裝有燕尾槽密封件10的一個部件85與 另一個部件90的緊固，先使密封凸部22變形，使底面部12的凹部充分變 形，因此，能以低負載來得到密封力。
此外，即使是在這樣緊固的狀態下，側面突出部16a、 16b的抵接部 26a、 26b也會以與燕尾槽60的斜邊70a、 70b完全抵接的形態變形，因此 能可靠地防止轉動和破壞原有姿勢。
此外，即使在圖5 (b)的狀態下繼續受到意想不到的大的壓縮負載，
由于伸出肩部18的角部20a、 20b設定在燕尾槽60角部68a、 68b的最窄 部的位置72的上方，因此，僅是該角部20a、 20b碰及到燕尾槽的角部68a、 68b，能抑制進一步的壓縮變形，能可靠地防止燕尾槽密封件10在燕尾槽 60內轉動或破壞原有姿勢。
圖6 (a-1)至圖6 (b-2)所示的圖是對比表示已有技術例的密封件 300與本實施例的燕尾槽密封件10的安裝性、壓縮性的剖視圖。
可通過使另一個部件90向一個部件85的方向移動來壓縮這種圖6所 示的本實施例的燕尾槽密封件10和已有技術的密封件300的壓縮余量t。
此外，像圖7所示的曲線圖那樣，對比本實施例與已有技術例來表示 壓縮余量與壓縮負載之間的關系。
由圖7的曲線圖可以明確，使本實施例的燕尾槽密封件10的作壓縮余 量t的變形的負載比已有技術的密封件300要小，故更加優良。因此，顯 而易見，在壓縮時能用低負載來得到密封性。
通常，如上所述，密封部分通過一定量以上的應力作用在燕尾槽密封 件10、密封件300上并使之產生規定的壓縮余量t的變形來發揮密封功能， 但在已有技術例的密封件300的場合，隨著壓縮余量t的變大，其所需的 壓縮負載也正比增大。
對此，在本實施例的燕尾槽密封件10的場合，與已有技術例一樣，隨 著壓縮余量t的變大，其所需的壓縮負載也正比增大，但可以確認，緊固 負載比已有技術的密封部件300要小。
因此，根據本實施例，即使真空閘閥伴隨著晶片等被處理對象的大型 化而大型化了，對于安裝在其上的燕尾槽密封件10，也無需像已有技術的 密封件300那樣大大增加壓縮負荷。
以上，就本發明的燕尾槽密封件10的實施例作了說明，但本發明并不 限于上述實施例。
例如，在本實施例的燕尾槽密封件10中，底面部12的側面部13a、 13b垂直于燕尾槽60的底面62，但如圖8 (a)所示，也可在側面部13a、 13b上設置凹部28a、 28b，或又如圖8 (b)所示，可在伸出肩部18的直線
部分上設置凹部30a、 30b。
再如圖8(c)所示，也可在側面部13a、 13b和伸出肩部18的直線部 分雙方上設置凹部28a、 28b、 30a、 30b。
也就是說，若燕尾槽密封件10的底面部12的最寬處的寬度(從角部 14a至角部14b的距離)W2比燕尾槽的開口的最窄處的寬度G窄，且伸出 肩部18的角部20a、 20b處在最窄部的位置H3的范圍內，則燕尾槽密封件 10的形狀可適當改變。
此外，本實施例中在大致中央處設有密封凸部22，但密封凸部22可 在伸出肩部18的最寬處的寬度Wl內移動，且其形狀也可以是梯形、矩形 等任一種形狀。
此外，在上述實施例中，特別以用于半導體制造裝置、液晶制造裝置 的單作用型的真空閘閥為例來作說明，但使用之處并不限于此，也可應用 于所謂的雙作用型的真空閘閥。此外，特別是適于在半導體或FPD制造裝 置中用作反復減壓和向大氣開放的加載鎖定腔的真空閘閥。也就是說，如 果是形成有燕尾槽60的密封槽的話，則無論是什么樣的部件都能有效地適 用。
權利要求
1.一種閉環形燕尾槽密封件，在彼此相對的一對部件的接合處，通過安裝到設在任一個部件的表面上的燕尾槽內并與另一個部件的表面抵接來將兩部件之間封固住，其特征在于，安裝在所述燕尾槽內的所述燕尾槽密封件的截面形狀包括底面部，該底面部與所述燕尾槽的底面接觸，且左右的角部位于比所述燕尾槽的開口的最窄寬度稍窄的位置上；側面突出部，該側面突出部從所述底面部連續延伸，設置成比所述底面部的角部更向寬度方向突出并與所述燕尾槽內側的斜邊抵接；伸出肩部，該伸出肩部從所述側面突出部連續形成，所述伸出肩部的角部的位置比所述燕尾槽的開口側端面的位置更靠近燕尾槽底面側且比所述燕尾槽的最窄部的位置更靠近燕尾槽的開口側；以及密封凸部，該密封凸部從所述伸出肩部連續延伸，設置成比所述燕尾槽的開口更向上突出，且在與所述另一個部件的表面抵接時將兩部件之間封固住。
2. 如權利要求1所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在將所述燕尾槽 密封件的所述伸出肩部的最寬處的寬度設為Wl、將所述燕尾槽的開口的最 窄處的寬度設為G時，所述W1的范圍為0. 75G〈WKG。
3. 如權利要求l或2所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在將從所述 燕尾槽的底面至所述燕尾槽的開口側端面的距離設為H、將從所述燕尾槽的底面至所述密封凸部的最高處的距離設為Hl時，所述Hl的范圍為1. 20H<H1〈1. 60H。
4. 如權利要求1至3中任一項所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在 將從所述燕尾槽的底面至所述燕尾槽的開口側端面的距離設為H、將從所述 燕尾槽的底面至所述側面突出部的靠所述燕尾槽的開口側端面側的基端部 的距離設為H2時，所述H2的范圍為0. 9H<H2<0. 95H。
5. 如權利要求1至4中任一項所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在 將所述燕尾槽的開口的最窄處的寬度設為G、將所述底面部的最寬處的寬度 設為W2時，所述W2的范圍為0. 75G〈W2〈G。
6. 如權利要求1至5中任一項所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在 所述底面部上設有凹部。
7. 如權利要求1至6中任一項所述的燕尾槽密封件，其特征在于，在 從所述密封凸部的最高處向所述底面部方向向下作垂線時，所述燕尾槽密 封件相對于所述垂線呈線對稱的形狀。
8. —種真空閘閥，其特征在于，在閥芯上安裝有權利要求1至7中任一項所述的燕尾槽密封件。
全文摘要
一種燕尾槽密封件，從燕尾槽密封件的左右兩邊受到密封負載或推力負載時也不會轉動或從燕尾槽脫落，在彼此相對的一對部件的接合處，通過裝到設于任一個部件表面的燕尾槽內并與另一個部件的表面抵接來將兩部件之間封固，燕尾槽密封件的截面形狀包括與燕尾槽的底面接觸且左右的角部位于比燕尾槽的開口的最窄寬度稍窄的位置上的底面部；從底面部連續延伸、比底面部的角部更向寬度方向突出并與燕尾槽內側的斜邊抵接的側面突出部；從側面突出部連續形成、角部的位置比燕尾槽的開口側端面的位置更靠燕尾槽底面側且比燕尾槽的最窄部的位置更靠燕尾槽的開口側的伸出肩部；以及從伸出肩部連續延伸、比燕尾槽的開口更向上突出且在與另一個部件的表面抵接時將兩部件之間封固住的密封凸部。
文檔編號F16J15/10GK101375090SQ20078000378
公開日2009年2月25日 申請日期2007年1月29日 優先權日2006年1月31日
發明者辻和明 申請人:日本華爾卡工業株式會社