本發明涉及納米加工，特別是涉及一種納米柱陣列及其制備方法。納米柱的應用十分廣泛，從太陽能電池，氮化鎵探測器，到人臉識別和生物蛋白研究。傳統制備的納米柱的方法有電沉積法、外延生長、自組裝納米小球等，但是這些方法很難實現納米柱的有序排列和納米柱直徑尺寸的精確控制。后來發展起來的有納米壓...

本申請涉及半導體，具體來說，涉及一種mems(microelectromechanicalsystems的簡寫，即微機電系統)結構的制造方法。mems傳聲器(麥克風)主要包括電容式和壓電式兩種。mems壓電傳聲器是利用微電子機械系統技術和壓電薄膜技術制備的傳聲器，由于采用半導體平面...

本發明涉及聲電轉換，更具體地，涉及一種傳感器封裝結構、電子設備以及封裝方法。傳感器能夠感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。傳感器從信息的感測到傳遞是從感應部感測，再將感測到的...

本發明涉及一種微測輻射熱計及其制備方法，更具體的說是涉及一種利用可編程晶態納米線陣列連接和懸空非晶硅氮化硅疊層薄膜的方法，尤其涉及利用懸空納米線表面對熱傳導的限制，以及非晶硅的高熱阻系數制備新型微測輻射熱計器件的方法。紅外光譜根據其同可見光的關系，可分為近紅外（波長范圍0.75μm~2.5...

本發明涉及半導體，尤其涉及一種mems傳感器及其形成方法。mems(microelectromechanicalsystem，微機電系統)傳感器是利用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。常用的mems傳感器有壓力傳感器、慣性傳感器、麥克風、光傳感器、催化傳感器等等。隨著工藝...

本發明屬于材料領域。具體地，本發明涉及一種制備變徑納米結構的方法。由于三維納米結構具有獨特的三維結構，進而能夠呈現出很多奇特的光學和電學特性，其已在表面等離激元、場發射、太陽能電池、生物醫學檢測、微流控器件、自清潔表面、光電子器件和光學傳感器件等領域有了許多應用。常規的三維納米結構的制作通...

本發明涉及一種多個mems音頻轉換器的制造方法，所述mems音頻轉換器特別是用于產生和/或檢測可聽波長譜和/或超聲波范圍中的聲波；以及一種用這種方法制成的mems音頻轉換器。wo2016/180841a1公開了一種制造音頻轉換器裝置的方法。在該方法中，將膜片模塊與印制電路板模塊連接在一起，...

本實用新型涉及mems，尤其涉及一種硅麥克風封裝結構。mems麥克風通常包括有mems芯片以及與之電連接的asic(applicationspecificintegratedcircuit，功能集成電路)芯片，其中mems芯片包括襯底以及固定在襯底上的振膜和背極，振膜和背極構成了電...

本揭露涉及一種微機電系統裝置，特別涉及一種微機電系統裝置的控制方法及測試方法。對于許多現代應用來說，涉及半導體裝置的電子設備是很重要的。材料與設計的技術進展已經產生數代半導體裝置，每一代都比前一代具有更小且更復雜的電路。在進步與創新的過程中，通常會增加功能性設計(即每一芯片面積上的互連裝置...

本發明涉及一種半導體元件及其制作方法，特別是涉及一種微電機構系統(micro-electro-mechanicalsystem，mems)元件及其制作方法。隨著科技的進步，消費性電子產品不斷地朝向小型化發展，同時其效能與功能也不斷地在提升。利用半導體制作工藝或其它微精密技術，同時整合電子、...

本案關于一種致動器，尤指一種使用微機電面型及體型加工制程制作的微流體致動器。目前于各領域中無論是醫藥、電腦科技、打印、能源等工業，產品均朝精致化及微小化方向發展，其中微幫浦、噴霧器、噴墨頭、工業打印裝置等產品所包含的流體致動器為其關鍵技術。隨著科技的日新月異，流體輸送結構的應用上亦愈來愈多...

本發明屬于金納米棒單層膜的制備，具體涉及一種在固體基片上制備大面積、高覆蓋率、排列緊密、表面等離子共振峰可調的二維金納米棒單層膜基底的制備方法。近年來，金納米棒作為各向異性的貴金屬納米材料在光學、電子和催化等領域受到廣泛重視，通過對金納米棒長徑比的控制可實現最大吸收峰在可見-近紅外...

本發明涉及一種利用可大面積生長密排長直晶態納米線陣列的方法，更具體的說是經過轉移等步驟，將硅納米線陣列旋轉一定角度后層層堆疊，制備出具有高光學活性的高性能手性器件的方法。如果一個物體不能和它的鏡像重合，我們就說這個物體具有手性，就好比我們的左手和右手互為鏡像，但并不是嚴格重合的。手性材料對...

本發明涉及一種慣性傳感器的制造工藝，具體地涉及一種mems慣性傳感器的晶圓制造方法。各種各樣的應用，尤其是慣性導航系統，制導系統和航空數據測量系統等航空航天應用，都需要具有接近微重力分辨率，高靈敏度，高線性度和低偏置漂移的高性能加速度計和陀螺儀。傳感器的熱機械布朗噪聲限制了高性能加速度計和...

本發明涉及傳感器生產，特別涉及一種傳感器的制造方法。mems（微機電系統）傳感器是通過傳感器芯片將外界信號（如振動、光、或壓力等）轉換成電信號的裝置，在該裝置中，為了保護易碎的芯片及減小外界干擾等，需要設置封裝殼。在一相關設計中，采用三層pcb板形成封裝殼，即該封裝殼包括圍板、及分...

本發明涉及傳感器生產，特別涉及一種傳感器的制造方法。mems（微機電系統）傳感器是通過傳感器芯片將外界信號（如振動、光、或壓力等）轉換成電信號的裝置，在該裝置中，為了保護易碎的芯片及減小外界干擾等，需要設置封裝殼。在一相關設計中，采用三層pcb板形成封裝殼，即該封裝殼包括圍板、及分...

本發明屬于取向納米材料，具體涉及一種各向異性納米材料的取向方法。隨著信息產業的迅猛發展，信息傳遞與信息安全引起了人們的廣泛關注。各向異性納米材料(如半導體量子棒、金納米棒、上轉換納米棒)可以產生獨特的極化偏振發光，從而在彩色顯示、光學存儲、生物成像、生物傳感以及防偽等領域具有廣泛的...

本發明實施例涉及半導體技術，尤其涉及一種基板剝離裝置及方法。半導體及mems(微機電系統)等電子產業為提高性能、縮小產品體積做著巨大的努力，為了實現這一要求，現在普遍采用縮小基板厚度或在基板反面形成回路等方法,為保護產品及工程的進行需要在產品基板上黏貼支撐基板，在必要的工程進行后還需要迅速...

本發明涉及一種工藝方法，尤其是一種納米森林吸氣劑的制備方法，屬于納米森林吸氣劑的。真空封裝環境是眾多mems(micro-electro-mechanicalsystem)器件，如加速度計、陀螺儀、諧振器、扭轉微鏡等高性能工作的有力保障。mems傳感器有真空封裝要求，主要是因為這些...

本申請涉及微系統，特別是涉及一種微系統封裝方法。隨著人類社會全面進入信息化時代，生產生活中需要對越來越多的場景和對象進行實時監測，如交通工具運行狀況、城市管廊線路安全、物流貨物實時狀態、環境人體健康程度等。由于上述監測需求具有信息密度低、分布范圍廣、維護管理難以及附加價值低等特點，...