本發明屬于半導體，涉及一種像元結構、陣列紅外探測器及制作方法。、傳感器是一種能把物理量或化學量轉變成便于利用的電信號的器件。微機電系統(micro-electro-mechanical?system，簡稱mems)技術是連接宏觀世界和微觀世界的一座橋梁。mems傳感器是采用微電子和微機械加...

本發明涉及神經傳感器件領域，具體涉及一種多通道神經微電極及其制備方法。、神經微電極是一種傳感器件，其作用原理為實現生物電信號與通用電信號之間的相互轉換。神經微電極可以被植入到神經組織中，實現對神經元活動的記錄和刺激。通過測量神經元的脈沖活動或電位變化，達到研究神經網絡的功能和病理生理學特征...

本申請涉及微機電系統，具體而言涉及一種mems器件及其制備方法。、對于諸如陀螺mems(micro-electro-mechanical?system，微機電系統)傳感器之類的mems器件，其通常需要通過鍵合工藝在內部形成真空腔室。而鍵合后真空腔室內部往往會釋放一些氣體，導致器件真空腔室內...

本發明屬于微機械，具體涉及一種微機械超聲換能器的制備方法。、微機械超聲換能器(micro-electro-mechanical?systems,mems)技術近年來在醫療成像、無損檢測、指紋識別等領域得到了廣泛應用。根據結構和工作原理，mems超聲換能器可分為兩種主要類型：壓電式微機械超聲...

本發明涉及半導體，具體而言涉及一種mems器件及其制造方法、電子裝置。、隨著mems制備技術的發展，諸如但不限于mems加速度計、mems陀螺儀等的mems慣性傳感器，應用到移動終端、車輛等多個場合。、mems加速度計的主要結構包括空腔、以及設置于空腔內的懸臂式的懸浮插指結構。采用現有工藝...

本發明涉及微機電，尤其涉及集成撓曲電位置檢測的電熱微動平臺、檢測方法及其制備方法。、電熱驅動mems(micro-electro-mechanical?system)微動平臺因僅需較低的輸入電壓便能實現較大的驅動力和位移，因此常被用于微鏡、微鑷子、微開關等mems器件中，在光譜分析、生物工...

本發明涉及半導體，具體而言涉及一種用于檢測金屬鍵合強度的半導體結構和測試方法。、微電子機械系統(micro-electro-mechanical?system，簡稱為mems)是一種集成傳感器、微執行器和微電路的典型化系統，廣泛應用于汽車、航天航空、生物醫療、軍事等諸多領域。、金屬鍵合是m...

本申請涉及微電子，尤其涉及一種電子器件的制備方法及電子器件。、目前，在微機電芯片以及集成電路傳感器制造中，涉及多種金屬等多種膜層沉積及其圖形化工藝，多種制造流程包括膜層沉積、光刻和刻蝕工藝，這些工藝完成后都需要濕法工藝清洗表面殘留物，隨著工藝設計及對其他結構層限制的變化，對濕法清洗提出了更...

本發明涉及納米材料制備及半導體，尤其涉及一種納米管陣列制備方法、納米管陣列及器件。、單壁碳納米管(以下簡稱碳管)可視作由石墨烯卷曲形成的準一維結構，取決于卷曲方式(手性)不同，單壁碳管可展現為金屬性或半導體性。全半導體性、高密度(每微米根以上)平行排列的半導體性單壁碳管陣列，是構筑高性能碳...

本發明涉及led，具體涉及一種高縱橫比的微納米椎體結構的制作方法。、表面微納米結構粗化是提高led發光效率的重要手段，目前市場上商用的大功率led器件，在晶圓加工時大多都會進行不同程度的粗化，比較常用的做法是使用koh溶液進行腐蝕，形成金字塔形結構，該結構縱橫比一般在.-之間，但無法精準控...

本發明涉及半導體生產，尤其是指一種濕法腐蝕過程中芯片正面結構的保護方法。、mems(微機電系統)表壓壓力傳感器因其小尺寸、高精度和高靈敏度等優點，在工業自動化、汽車電子和生物醫學等領域得到了廣泛應用。該傳感器的核心結構通過微加工技術在硅片上形成，其中背腔的深槽結構起到至關重要的作用。然而，...

本申請涉及生物打印技術與mems工藝領域，特別涉及一種改善生物打印芯片納米孔的絲狀凹坑缺陷的方法及納米孔。、生物打印技術是集成生物學、材料學、醫學、計算機學的多學科交叉融合技術，是一種以計算機三維模型為“圖紙”，裝配特制“生物墨水”，最終制造出人造器官和生物醫學產品的新科技手段。mems(...

本申請實施例涉及半導體，尤其涉及一種硅表面引線結構的形成方法。、微機電系統(micro-electro-mechanical?systems,mems)是一種集成微型機械和電子組件的技術，廣泛應用于各種傳感器和執行器中。在mems器件的設計與制造過程中，確保電信號的有效輸入\輸出至關重要。...

本發明涉及微機電系統領域，特別涉及一種微機電系統及其制造工藝。、在進行非制冷紅外探測器等微機電系統(mems)的制備時，需要在切割道區形成多個對準標記，并通過對準標記保證圖形區的刻蝕位置的準確度。非制冷紅外探測器包括橋腿結構，橋腿結構包括頂部的微測輻射熱計和錨柱，錨柱支撐微測輻射熱計使其懸...

本申請主要涉及微機電系統，特別是涉及一種微機電系統。、微機電系統(mems，micro-electro-mechanical?system)，也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控...

本發明涉及微機電，更具體地，本發明涉及一種mems傳感器、mems傳感器的制備方法及電子設備。、mems傳感器是基于微機電系統(mems，micro-electro-mechanical?system)技術制造的結構，簡單的說，mems傳感器能夠利用半導體材料形成電容器，并將電容器集成在微...

本發明屬于碘甲烷氣體檢測，具體涉及一種碘甲烷氣體檢測用微針陣列探測器。、碘甲烷是一種優秀的制冷劑、溶劑以及推進劑，得到了廣泛的應用。但碘甲烷具有一定的生物毒性，而且曝露在高空的紫外光中時會釋放出碘原子，對臭氧層產生破壞，因此受到了人們的廣泛的關注。然而，目前還沒有便攜、快速、準確的方法來檢...

本發明涉及一種具有微機械構件的半導體裝置。本發明同樣涉及一種半導體裝置的制造方法。、圖示出了常規壓力傳感器的示意圖，其對申請人來說是已知的內部現有技術。、在圖中示意性示出的常規壓力傳感器具有微機械構件，該微機械構件布置在由底板、固定在底板上的側面部分和固定在側面部分上的蓋件形成的殼體的內部...

本技術涉及mems元件及壓電聲學設備。、當前已知使用壓電體的mems(micro?electro?mechanical?systems，微機電系統)元件。在日本特開-號公報(專利文獻)中，公開了一種具備膜的mems元件，所述膜具有在一對電極之間夾有壓電膜的構造。、在先技術文獻、專利文獻、專...

本發明涉及芯片生產設備，尤其是基于spr與mit技術的高精度化學芯片批量生產設備。、表面等離子體共振(surface?plasmon?resonance，spr)是一種物理光學現象，其原理是指：當光線由光密介質照射到光疏介質時，在入射角大于某個特定的角度時，界面會發生全反射現象。如果在兩種...